2020-12-29 - Article/Dans un journal avec peer-review - Anglais -
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Tonneau Romain,
Moskovkin Pavel,
Müller Jérôme,
Melzig Thomas,
Haye Emile,
Konstantinidis Stéphanos
,
Pflug Andreas,
Lucas Stéphane,
"Understanding the role of energetic particles during the growth of TiO2 thin films by reactive magnetron sputtering through multi-scale Monte Carlo simulations and experimental deposition" in Journal of Physics: D Applied Physics
- Edition : Institute of Physics Publishing (United Kingdom)
- Codes CREF : Physique de l'état solide (DI1261), Physique des surfaces (DI1265), Chimie des solides (DI1316), Physique des plasmas (DI1233), Sciences exactes et naturelles (DI1000)
- Unités de recherche UMONS : Chimie des interactions plasma-surface (S882)
- Instituts UMONS : Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux (Matériaux)
- Centres UMONS : Centre d’Innovation et de Recherche en Matériaux Polymères (CIRMAP)
Texte intégral :