DI-UMONS : Dépôt institutionnel de l’université de Mons

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2013-03-12 - Colloque/Présentation - poster - Anglais - 1 page(s)

Guyot Corentin , Rosolen Gilles , Voué Michel , "Statistical method to strengthen the analysis of optical properties of materials at sub-micron scale" in 7ème édition de la Matinée de Chercheurs, Mons, Belgique, 2013

  • Codes CREF : Matériaux optiques (DI1256)
  • Unités de recherche UMONS : Physique des matériaux et optique (S878)
  • Instituts UMONS : Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux (Matériaux)
  • Centres UMONS : Physique des matériaux (CRPM)
Texte intégral :

Abstract(s) :

(Français) L’imagerie ellipsométrique permet de déterminer les propriétés optiques et structurelles locales des matériaux (épaisseur, indice de réfraction) à l’échelle (sub)micronique. Elle génère toutefois un grand nombre de données spectrales (hypercube) dont le traitement numérique peut s’avérer très coûteux en temps de calcul. Ce travail présente l’utilisation de procédures d’analyse statistique multivariée pour déterminer les pixels des images possédant la même réponse optique et réduire le temps nécessaire à l’inversion des équations ellipsométriques.