DI-UMONS : Dépôt institutionnel de l’université de Mons

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(titres de publication, de périodique et noms de colloque inclus)
2010-07-08 - Article/Dans un journal avec peer-review - Anglais - 8 page(s)

Sarakinos K., Music D., Mràz S, To Baben M., Jiang K., Nahif F., Braun A., Zilkens C., Konstantinidis Stéphanos , Renaux Fabian, Cossement Damien, Munnik F., Schneider J-M., "On the phase formation of sputtered hafnium oxide and oxynitride films" in Journal of Applied Physics, 108, 1, 014904

  • Edition : American Institute of Physics (NY)
  • Codes CREF : Chimie des surfaces et des interfaces (DI1327), Chimie des solides (DI1316), Physique des plasmas (DI1233)
  • Unités de recherche UMONS : Chimie des interactions plasma-surface (S882)
  • Instituts UMONS : Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux (Matériaux)

Identifiants :
  • DOI : 10.1063/1.3437646