2010-01-01 - Article/Dans un journal avec peer-review - Anglais -
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Sarakinos K.,
Music D.,
Mràz M.,
To Baben M.,
Jiang K.,
Nahif F.,
Braun A.,
Zilkens C.,
Konstantinidis Stéphanos 
,
Renaux D.,
Cossement D.,
Munnik F.,
Schneider J-M.,
"On the phase formation of sputtered hafnium oxide and oxynitride films" in Journal of Applied Physics, 108, 014904, 8pp
- Edition : American Institute of Physics (NY)
- Codes CREF : Phonétique (DI5312), Chimie des solides (DI1316), Physique des plasmas (DI1233), Linguistique appliquée (DI5323)
- Unités de recherche UMONS : Chimie des interactions plasma-surface (S882)
- Instituts UMONS : Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux (Matériaux)
Texte intégral :