DI-UMONS : Dépôt institutionnel de l’université de Mons

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(titres de publication, de périodique et noms de colloque inclus)
2007-01-01 - Article/Dans un journal avec peer-review - Anglais - 4 page(s)

Guisbiers G., Van Overschelde Olivier , Wautelet Michel , "Materials selection for thin films for radio frequency microelectromechanical systems" in Materials & Design, 28, Issue 1, 1994-1997

  • Edition : Elsevier Science, Oxford (United Kingdom)
  • Codes CREF : Résistance des matériaux (DI2112), Physique de l'état solide (DI1261), Chimie des solides (DI1316), Physique des plasmas (DI1233)
  • Unités de recherche UMONS : Physique expérimentale et biologique (M104), Chimie des interactions plasma-surface (S882)
  • Instituts UMONS : Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux (Matériaux)
Texte intégral :

Abstract(s) :

(Anglais) Materials selection is essential for efficient design of various systems, like micro-electromechanical systems (MEMS). The rapid expansion of the field of MEMS motivates the search for efficient materials. We apply the Ashby methodology to select materials suitable for applications in a particular class of MEMS, namely RF-MEMS. In a first step, the selection deals with the minimization of intrinsic residual stresses for thin films deposited by the evaporation process. In a second step, the selection is based on the search of materials having a high pull-in tension and a high quality factor for the bridge of RF-MEMS.

Identifiants :
  • DOI : 10.1016/j.matdes.2005.05.012
  • ISSN : 0264-1275