DI-UMONS : Dépôt institutionnel de l’université de Mons

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2006-01-25 - Colloque/Article dans les actes avec comité de lecture - Anglais - 8 page(s)

Guisbiers Gregory , Strehle S., Van Overschelde Olivier , Wautelet Michel , " Residual stresses in Ta, Mo, Al and Pd thin films deposited by e-beam evaporation process on Si and Si/SiO2 substrates " in 8th International Workshop on Stress-Induced Phenomena in Metallization, Dresden, Germany, 2006

  • Codes CREF : Physique de l'état solide (DI1261), Physique des surfaces (DI1265), Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.] (DI1267)
Texte intégral :