DI-UMONS : Dépôt institutionnel de l’université de Mons

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2015-05-22 - Colloque/Article dans les actes avec comité de lecture - Anglais - 1 page(s)

Stock Mathieu , Guyot Corentin , Voué Michel , "Spectroscopic imaging ellipsometry data inversion: a multivariate approach based on k-means and ascendant hierarchical clustering algorithms" in 18th Annual Workshop of the IEEE Photonics Benelux Chapter, 978-2-87325-091-1, 28-29, Mons, Belgique, 2015

  • Codes CREF : Matériaux optiques (DI1256)
  • Unités de recherche UMONS : Physique des matériaux et Optique (S878)
  • Instituts UMONS : Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux (Matériaux)
  • Centres UMONS : Physique des matériaux (CRPM)

Abstract(s) :

(Anglais) In this paper, we consider two-steps statistical algorithms to identify the pixels of the image from spectroscopic imaging ellipsometry characterizing regions of a sample having a similar optical response. Typically, 256 regions are selected and the ellipsometric equations are numerically solved for each of them. The solution is back-propagated on the initial images to get a thickness or a refractive index map.