DI-UMONS : Dépôt institutionnel de l’université de Mons

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2005-08-24 - Article/Dans un journal avec peer-review - Anglais - 5 page(s)

Guisbiers Gregory , Strehle Stephen, Wautelet Michel , " Modeling of residual stresses in thin films deposited by electron beam evaporation" in Microelectronic Engineering, 82, 665-669

  • Edition : Elsevier Science
  • Codes CREF : Physique des surfaces (DI1265), Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.] (DI1267)
Texte intégral :